MENENTUKAN KONSTANTA DIELEKTRIK LAPISAN TIPIS (Ba0.6Sr0.4TiO3 ) DENGAN MENGGUNAKAN IMPEDANSI KOMPLEKS

Krisman Krisman, Rahmi Dewi

Abstract


Telah dilakukan penelitian mengenai analisa karakterisasi konstanta dielektrik lapisan tipis Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) dengan menggunakan impedansi kompleks. Penelitian ini dilakukan untuk menyelidiki sifat dielektrik lapisan tipis tersebut dengan struktur Si/SiO2/RuO2/TiO2/BST/Al pada suhu anneling masing-masing 600oC, 650oC dan 700oC. Pengolahan data pengukuran dilakukan dengan menggunakan program ZView 2 dalam range frekuensi 10 Hz hingga 1 MHz, dimana tegangan arus bolak-balik ditetapkan sebesar 0,5 Volt. Harga konstanta dielektrik (εr‘) pada masing-masing suhu berbeda-beda, dimana semakin tinggi suhunya maka konstanta dielektriknya semakin kecil. Pada frekuensi 356,91 Hz, harga konstanta dielektrik masing-masing suhu anneling 600oC, 650oC dan 700oC yaitu 3x10-4, 9,92x10-6 dan 7,21x10-7. Hal ini disebabkan karena konstanta dielektrik (εr‘) pada lapisan tipis Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) sangat bergantung pada kualitas kristalnya, ukuran butiran dan juga ratio Ba/Sr. Konstanta dielektrik lapisan tipis Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) akan menurun jika meningkatnya suhu annelling.

 

Kata Kunci: Bahan Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST); konstanta dielektrik; suhu annelling


Full Text:

PDF

Refbacks

  • There are currently no refbacks.